日前，JEOL宣布推出新型原子分辨率電鏡JEM-ARM300F。

　　透(tou)射電(dian)鏡一直以來是材(cai)(cai)料(liao)研(yan)發當中進(jin)(jin)行微觀結構分析的(de)重要工具。然而，隨(sui)著(zhu)納米(mi)級或原子(zi)水(shui)平的(de)先進(jin)(jin)材(cai)(cai)料(liao)的(de)研(yan)發，針對這(zhe)類材(cai)(cai)料(liao)的(de)合(he)成(cheng)研(yan)究越(yue)來越(yue)需要高分辨率的(de)成(cheng)像和分析技術。

　　為了滿足這種需求，日本電(dian)(dian)子(zi)一直聚焦于推出帶有球差校正器的(de)(de)(de)透射電(dian)(dian)鏡技術來超(chao)越目(mu)前的(de)(de)(de)分辨率(lv)極限。在(zai)2009年(nian)，日本電(dian)(dian)子(zi)推出了JEM-ARM200F，200kV的(de)(de)(de)透射電(dian)(dian)鏡，采用了球差校正技術，分辨率(lv)達到(dao)了80pm(STEM成(cheng)像)，這是首(shou)臺達到(dao)如此高(gao)的(de)(de)(de)分辨率(lv)的(de)(de)(de)商品化電(dian)(dian)鏡。為達到(dao)原子(zi)分辨率(lv)水(shui)平，JEM-ARM200F整合各種功能來確保高(gao)度穩定的(de)(de)(de)性能。目(mu)前，已有超(chao)過100臺ARM200F安裝在(zai)世界各地(di)，許多研究(jiu)人員對于電(dian)(dian)鏡原子(zi)水(shui)平的(de)(de)(de)成(cheng)像和分析(xi)非常(chang)熟(shu)悉。

　　同時，隨著像差校(xiao)正(zheng)器的(de)廣泛使用，用戶(hu)對(dui)于(yu)透(tou)射電鏡又涌現出各種各樣(yang)新的(de)需求，除了(le)高分(fen)辨率，還有高分(fen)析靈敏度、原(yuan)位分(fen)析、靈活的(de)加速(su)電壓(ya)控制，和像差校(xiao)正(zheng)的(de)易操(cao)作性。

　　因而，JEOL研發了JEM-ARM300F，可以說是JEM-ARM200F的(de)升級版，300kV的(de)原子分(fen)辨(bian)率透射電(dian)(dian)鏡，采用(yong)(yong)日本電(dian)(dian)子自有的(de)像差校正技術。JEM-ARM300F的(de)又被稱作“GRAND ARM”，分(fen)辨(bian)率可(ke)達63pm(STEM分(fen)辨(bian)率)。GRAND ARM可(ke)以根據用(yong)(yong)戶(hu)的(de)需求用(yong)(yong)于(yu)超高分(fen)辨(bian)率成像，或高靈敏度(du)的(de)分(fen)析應(ying)用(yong)(yong)，以及原位分(fen)析。

　　該(gai)儀器主(zhu)要的(de)目標(biao)用戶是研究機構(gou)或半導(dao)體制造商。